半導体および計測機器
導電性材料および計測機器の分野では、フランジは、接続、シール、設置位置決め、熱管理、および耐汚染性の機能を同時に果たす極めて重要なコンポーネントとして機能します。リソグラフィー、エッチング、蒸着などの半導体プロセス用の高/超高真空システムでは、KF、CF、ISO などのタイプのフランジにより、チャンバー、ポンプ アセンブリ、バルブ間の標準化されたインターフェイスと漏れのないシールが可能になります。これにより不純物汚染が排除され、ウェーハプロセスの歩留まりが確保されます。
